Ио́нный исто́чник — устройство для получения направленных потоков (пучков) ионов. Состоит из: корпуса катода; крышек крепления; крышки подачи газов с контуром охлаждения; анода с крышкой охлаждения; изоляционных втулок; трубок подачи охлаждения; присоединительных разъемов.