Вакуумная установка для заполнения чистых газов - предназначена для разлива чистых газов из большого баллона в маленькие. Установка оснащена турбомолекулярным насосам, который обеспечивает высокий вакуум. Баллоны и вакуумная система прогревается для обезгаживания и повышения чистоты вакуума.
Состоит из:
- каркас,
- вакуумной системы (ТМН, форвакуумный насос, вакуумные гребенки, комбинированного высоковакуумного датчика, мановакуумметра),
- баллонов для особо чистых газов.